- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話(huà)，可以
- 產(chǎn)品名稱(chēng)：移動(dòng)式氦氣檢漏儀
- 產(chǎn)品型號：UL1000FAB
- 產(chǎn)品展商：INFICON
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
INFICON英?？礥L1000FAB移動(dòng)式氦氣檢漏儀UL1000FAB 移動(dòng)式氦氣檢漏儀
產(chǎn)品描述
UL1000 Fab
ULTRATEST? 傳感器技術(shù)
工業(yè)真空和半導體制造中真空泄漏檢測的“干式”標準
INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導體環(huán)境中經(jīng)濟型氦氣真空泄漏檢測的公認標準。
通過(guò)儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測部件或設備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩健性和經(jīng)濟性之間提供了*佳的性?xún)r(jià)比。它提供*先進(jìn)的 10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時(shí)間和響應時(shí)間的特點(diǎn)。緊湊的設計提供了高度的機動(dòng)性，方便進(jìn)入空間有限的維修區域?？蛇x的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內實(shí)現低于現有背景水平狀態(tài)持續進(jìn)行泄漏測試。
所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時(shí)間，同時(shí)確?？梢越?jīng)濟實(shí)惠地檢測出所有泄漏。
穩定性和敏感度的新疆界，檢漏低達10-12毫巴·升/秒
英?？礥L1000FAB移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設計用于滿(mǎn)足半導體應用要求。
憑借工廠(chǎng)環(huán)境系統優(yōu)先級中的簡(jiǎn)單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供在所有測量范圍中提供極快的漏率響應。通過(guò)結合高速氦氣抽吸和高進(jìn)氣口壓強的*佳真空結構，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供漏率低達< 5×10-12毫巴·升/秒。磚利軟件I-CAL（智能漏率計算法）讓您忘記在低漏率范圍檢漏時(shí)較長(cháng)反應時(shí)間的煩惱，因為UL1000能夠對所有漏率范圍做出快速響應。
可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時(shí)超過(guò)8小時(shí)的無(wú)線(xiàn)作業(yè)。該單元配置一個(gè)3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀(guān)的操作特點(diǎn)。連接2個(gè)或多個(gè)檢漏儀的RC1000C有線(xiàn)型和無(wú)線(xiàn)遙控手柄用于完成產(chǎn)品組合。
使用額外的TC1000測試盒附件，UL1000FAB氦氣檢漏儀為密封產(chǎn)品提供簡(jiǎn)單、快速、**的測試，如IC包裝、石英晶體和激光器二極管（根據MilStd883，方法1014）。
特征概覽
15級的寬測量范圍
較短的抽氣和響應時(shí)間
移動(dòng)式全金屬外殼為優(yōu)良可操作性提供了額外便利性
I-CAL確保了所有測量范圍中泄漏的*快響應時(shí)間
抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正提供快速、可靠的測試結果
含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計提供高速氦氣抽速和高壓縮比
旋轉式顯示器和用戶(hù)界面允許該單元的簡(jiǎn)單、輕松控制和交互作用
自保護功能可防止UL1000Fab氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保隨時(shí)可用性
通過(guò)電子郵件進(jìn)行軟件升級
含兩個(gè)燈絲離子源（3年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統確保了較長(cháng)的運行時(shí)間和較低的維護成本
內部校準用的內置校準漏孔確保了**的測試結果
內置軟件菜單“自動(dòng)測漏”功能可使用TC1000測試盒執行密封部件的自動(dòng)測試
可選RC1000遙控器
應用
半導體加工工具上的維護工作
工藝氣體系統的檢測和安裝
部件檢漏
需高泵抽速、高靈敏度和清潔測試條件的應用
規格
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類(lèi)型
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Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
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氦氣（真空模式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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< 5 ? 10-12
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氦氣（吸**式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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< 5·10-8
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GROSS 模式*大進(jìn)氣口壓力
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mbar
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15
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FINE 模式*大進(jìn)氣口壓力
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mbar
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2
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ULTRA 模式*大進(jìn)氣口壓力
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mbar
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0.4
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抽真空期間的抽氣能力
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m3/h
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25 at 50 Hz
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GROSS 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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max. 8
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FINE 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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7
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ULTRA 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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2.5
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可檢測質(zhì)量數
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2,3,4 amu
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質(zhì)譜儀扇形場(chǎng)
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180°
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燈絲離子源銥/氧化釔涂層
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2
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內置校準漏孔
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mbar?L/s
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～ 10-7
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測試端口
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DN 25 KF
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1
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可調觸發(fā)器
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2
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接口
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RS 232
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圖形記錄器輸出
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V
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2 x10
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輸入/輸出
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PLC compatible
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允許的環(huán)境溫度（操作過(guò)程中）
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°C
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+10 to +40
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重量
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110
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尺寸（長(cháng)x寬x高）
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1050 x 472 x 987
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電源電壓 (EU)
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V (ac)
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230 (± 10 %) 50 Hz
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電源電壓 (US)
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V (ac)
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100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
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功耗 (typ.)
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VA
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1100
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|
功耗 (typ.)
|
VA
|
1100
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附件
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Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
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零件號
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明細
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14005
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SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭，4 米長(cháng)
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14022
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RC1000 extension cable, 8 m
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14090
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LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
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551-000
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Toolbox, detachable,for UL1000
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551-001
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Helium Bottle Holder for UL1000/5000
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551-002
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ESD Mat for UL1000/5000
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551-005
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TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
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551-010
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遙控器 RC1000C，有線(xiàn)，帶 4 米卷線(xiàn)
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551-015
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遙控器 RC1000WL，無(wú)線(xiàn)，包括無(wú)線(xiàn)發(fā)射機
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551-020
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RC1000WL 用無(wú)線(xiàn)發(fā)射機
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